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尼康起诉ASML侵权,曾经光刻巨头的最后挣扎?

半导体行业观察  · 公众号  · 半导体  · 2017-04-25 08:31
来源:内容来自新浪科技和知乎 ,谢谢。尼康今日宣布,已对荷兰半导体行业光刻系统供应商阿斯麦(ASML)和德国光学及光电子学设备厂商卡尔蔡司(Carl Zeiss)提起诉讼,指控这两家公司未经授权而使用其光刻技术。尼康称,已在荷兰、德国和日本对阿斯麦和卡尔蔡司提起诉讼。卡尔蔡司是阿斯麦的光学设备供应商。尼康在一份声明中称:“阿斯麦和卡尔蔡司在未经尼康许可的前提下,在阿斯麦的光刻系统中使用尼康的专利技术。” 当前,光刻系统被广泛应用于制造半导体,而阿斯麦又主导着半导体光刻机市场。评级机构“惠誉评级”(Fitch Ratings)今年1月发布的调研报告显示,在高端光刻机市场,阿斯麦的份额高达90%。 尼康在诉讼文件中称 ………………………………

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