国产半导体良率管理的量测设备：东方晶源D轮融资数亿元，填补多项国内空白

近日，国产半导体量测设备厂商：东方晶源完成数亿人民币D轮融资。本轮投资方为深创投、赛领资本（领投），众多知名投资机构联合投资。本轮融资将有助于东方晶源加快在集成电路前道电子束缺陷检测装备、计算光刻系统等核心产品的研发进程，加速在集成电路良率管理领域的整体布局。关于东方晶源东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司（简称：东方晶源）成立于2014年，总部位于北京亦庄经济技术开发区，是一家专注于集成电路良率管理的企业。作为高新技术企业，人才是根本。东方晶源研发人员占比近70%，亦麒麟人才3人，核心成员拥有美国硅谷、日本以及欧洲等世界一流半导体科技公司的产品研发和管理经验。公司现主要产品为纳米级电子束缺陷检测装备（EBI）和关键尺寸量测装备（CD-SEM）、计算光刻产品（OPC）以及微电子设计与 ………………………………