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预言成真!“中国芯”这下稳了,美国:不可思议!

补两刀  · 公众号  ·  · 2018-12-03 18:58
中国芯片终于有了一些好消息!全球第一台!分辨力最高!七年磨一剑,中国自主研发的紫外超分辨光刻机,终于来了!光刻机是制造芯片的核心装备,我国在这一领域长期落后。11月29日,中科院光电技术研究所宣布,其承担的国家重大科研装备研制项目“超分辨光刻装备研制”通过验收。这是世界上首台用紫外光源实现了22纳米分辨率的光刻机。据介绍,中科院光电所超分辨光刻装备项目组经过近7年艰苦攻关,突破了多项关键技术,完成国际上首台分辨力最高的紫外超分辨光刻装备研制,其采用365纳米波长光源,单次曝光最高线宽分辨力达到22纳米,结合多重曝光技术后,可用于制造10纳米级别的芯片!中科院理化技术研究所许祖彦院士等验收组专家一致表示,该光 ………………………………

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