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台积电14B厂晶圆瑕疵,光阻原料不符规格造成

SEMI  · 公众号  ·  · 2019-01-31 17:44
→ 马上完成预登记 一卡在手全馆通 ←晶圆代工厂台积电针对晶圆 14B 厂发生晶圆良率偏低问题再次发表声明,表示主要是 12 纳米及 16 纳米晶圆良率出问题,是供应商供应的光阻原料不符规格造成。台积电指出,内部是在 1 月 19 日发现晶圆 14B 厂的 12 纳米及 16 纳米良率出现问题,经追查后了解问题出在一批光阻原料。这批原料是来自一个与台积电有多年供货经验优良的厂商,台积电表示,但这批原料与过去供应的原料规格有相当误差。台积电指出,内部立即停用这批不符规格的原料,并马上通知所有受到影响的客户。台积电表示,过去 10 天已与所有受影响的客户密切沟通,包含相关补货和交期的细节,以目前 12 纳米与 16 纳米产能利用率估计,受影响的晶圆大部分 ………………………………

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