SPAD|用于SPAD像素的基于元表面的平面微透镜

引言做CIS的同学都知道，Sensor的pixel表面都有一个Microlens，用于聚光，而SPAD本质上也是一个光电二极管，为了起到同样的作用，各个厂家也对SPAD上的Microlens进行了研究。今天我们将介绍意法半导体ST发布论文为大家介绍SPAD上微透镜的应用。在本文中，我们提出了两代基于元表面的平面微透镜的设计，它们在正面照明SPAD像素上实现。这种微透镜是传统回流微透镜的替代品。它在设计方面提供了更多的自由度，特别是设计离轴微透镜以收集SPAD光电二极管周围的光的能力。在STMicroelectronics SPAD上制备了两代微透镜，并对其进行了表征。我们验证了基于扩展超表面的微透镜所提供的灵敏度提高。我们还证实了光刻能力对超表面性能的影响，强调了获得先进深紫外光刻的必要性。1. Introduction平面微透镜非常适合SPAD像素，SPAD像素通常在单色照明（飞行时间或 ………………………………