挽救摩尔定律的关键：ASML EUV光刻机的量产历程

2019 年底在旧金山举办的年度国际电子元件会议（IEDM）上，台积电公布的两个报告标志着积体电路制造迈入了EUV光刻时代。第一个报告宣布了应用EUV光刻技术的7nm世代的改良版芯片已经于2019 年正式量产，我们知道这个技术已经用在2019 年生产的麒麟990 5G 这颗有多于100 亿个晶体管的芯片上。第二个报告宣布了2020 年量产的5nm世代将会有十几层的制程用EUV光刻技术来完成，取代多于它四倍（四十几层）的193nm浸润式光刻技术。果然，2020 年秋天，苹果公司的5G 旗舰手机已经搭载台积电制造的5nm世代的芯片。日前，苹果更宣布用于Mac PC 的新芯片：这片5nm世代的芯片上含有160 亿个晶体管。EUV光刻技术使摩尔定律得以延续。ASML 上周财报中指出该公司于2020 年底庆祝第100 台EUV 极 ………………………………