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ASML:DUV光刻机无需美国许可!最新一代EUV光刻机明年发布:加工精度提升至1.1nm

EETOP  · 公众号  · 硬件  · 2020-10-15 12:10
EETOP专注芯片、微电子,点击上方蓝字关注我们10月14日,ASML公布第三季度财报,净销售额高达39.58亿欧元,同比增长32.6%,毛利率为47.5%。据该公司首席执行官Peter Wennink 介绍,ASML在第三季度一共交付了 10 台 EUV 系统,并在本季度实现了 14 台系统的销售收入。而在第三季度的新增订单达到 29 亿欧元,其中 5.95 亿欧元来自 4 台 EUV 设备。从这个说明我们可以看到,ASML EUV光刻机的售价约为1.48亿欧元,折合人民币11.74亿元。即将出货全新EUV光刻机ASML还披露他们全新的极紫外光刻机将在明年年中开始出货的,型号为TWINSCAN NXE:3600D。在财报中,阿斯麦表示他们已经敲定了TWINSCAN NXE:3600D的规格,具体来说,30mJ/c㎡ 的曝光速度达到每小时曝光160片晶圆,提高了18%的生产率,并改 ………………………………

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