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专栏名称: 子聿学长
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罕见!博士研究生一作兼通讯,已发3篇Nature、1篇Science,专注一个领域!

子聿学长  · 公众号  ·  · 2024-04-26 09:40
电介质静电电容器由于其超快充放电能力,对于高功率储能应用很有吸引力。除了超快运行之外,片上集成还可以为新兴的自主微电子和微系统提供小型化储能设备。此外,最先进的小型化电化学储能系统——微型超级电容器和微型电池——目前面临着安全、封装、材料和微加工方面的挑战,阻碍了片上技术的准备,这为静电微电容器带来了机会。第一作者兼通讯作者Suraj S.Cheema鉴于此,电子器件领域顶级期刊IEEE Electron Device Letters主编、加州大学伯克利分校Sayeef Salahuddin教授通过三管齐下的方法,报告了在硅片上集成的基于HfO2-ZrO2的薄膜微电容器的静电能量存储密度(ESD)和功率密度(PD)。首先,为了增加本征能量存储,在场驱动铁电相变附近设计了原子层沉积反铁电HfO2-ZrO2薄膜,通过负电容效应放大电荷存储,从而增强了体积静电放电(ESD), ………………………………

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