大连理工在压电喷墨腔室键合工艺研究取得进展

近年来，喷墨打印技术发展迅速，已经从传统的图像打印逐渐扩展到其他领域，如柔性集成电路打印、纺织数码印刷、3D打印技术、生物医学芯片印刷和太阳能电池板印刷。喷墨腔室作为储墨和供墨的结构，是喷墨打印头的核心部件之一，对墨水的压力波传导和墨滴的形成具有重要作用。为了实现高质量的喷射，制备符合喷墨要求的腔室具有重要意义。目前喷墨腔室的键合工艺方法主要有胶粘键合、硅硅高温键合、硅硅低温键合、热键合、干膜层压键合等。据麦姆斯咨询报道，近期，大连理工大学机械工程学院邹赫麟教授课题组在《机电工程技术》期刊上发表了以“压电喷墨腔室键合工艺的研究”为主题的论文。该课题组主要从事微机电系统（MEMS）技术工艺方法及应用 ………………………………