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国产8英寸石墨烯晶圆实现小批量生产

手机技术资讯  · 公众号  · 手机  · 2020-10-19 07:30
来源:本文来源“解放日报”,记者俞陶然,谢谢。昨天举行的2020中国国际石墨烯创新大会上,超平铜镍合金单晶晶圆、8英寸石墨烯单晶晶圆、锗基石墨烯晶圆等新材料亮相,展示了我国在高质量石墨烯材料领域的创新成果。在上海市石墨烯产业技术功能型平台的推动下,科研团队实现了这些成果的小批量生产,产品尺寸和质量处于国际“领跑”地位。研发人员展示8英寸石墨烯单晶晶圆。赖鑫琳 摄研发人员展示8英寸石墨烯单晶晶圆。赖鑫琳 摄2009年,中科院上海微系统所科研团队瞄准石墨烯单晶制备及其电子器件应用的关键难题,开始了攻关。“就像制造硅芯片的材料是一片片硅单晶晶圆,想用石墨烯等碳基二维材料实现电子器件集成,开启微电子技术变革,就必 ………………………………

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