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超灵敏透明超声换能器,用于体内超声和光声双模显微成像

MEMS  · 公众号  ·  · 2024-02-29 00:00
超声成像(USI)和光学成像(OI)传感器因其简单、安全及高成本效益,非常适合传感器融合应用。将USI与各种OI模式(如光声成像、光学相干断层扫描、荧光成像和白光成像等)结合使用可以提供互补的信息,提高疾病诊断和监测的灵敏度及特异性,同时最大限度地减少每种模式单独使用时的缺点。然而,目前仍存在两个主要障碍:一是在同一封装中无缝集成USI和OI模式,二是保持每种模式的最佳性能。利用透明超声换能器(TUT)或透明光学探测器可以克服外形尺寸挑战,实现USI和OI的无缝集成。但现有研究的TUT声学性能不如传统的不透明超声换能器(OUT)。已有报道通过透明聚焦光学传感器展示了高质量的多尺度光声成像,但其光学传感器无法生成超声图像。制造声学性能媲美OUT的实用TUT需要三个先决条件:(1)声阻抗为7~9 MRayl(1 Rayl = 1 Pa·s ………………………………

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