清华大学于荣团队Nat. Nanotechnol.：突破显微成像信息极限

清华新闻网2月3日电 近日，清华大学材料学院于荣团队提出并实现了局域轨道叠层成像方法，将显微成像的信息极限推进到了14 pm（0.14 Å）。清晰的原子世界不仅在物理、化学、生命等科学上令人好奇，同时也是材料、芯片、能源等高技术发展的基础。以高能电子作为光源的电子显微镜是高分辨成像的主要平台。本世纪初，像差校正电镜将分辨率带到了亚埃尺度。近年来，作为扫描衍射成像的叠层成像方法又实现了深亚埃分辨。叠层成像（Ptychography）是基于4D-STEM（four-dimensional scanning transmission electron microscopy）数据集的相干衍射成像技术。在配备单电子敏感的像素化探测器的电子显微镜上，通过叠层成像技术可实现深亚埃（图1.局域轨道叠层成像方法示意图。(a) 汇聚电子束在每个扫描位置与样品相互作用产生衍射图；(b) 最低的12阶像差系数的实部 ………………………………