国产半导体设备商芯源微成功过会

10月21日晚，上交所科创板上市委2019年第35次审议会议结果公告，同意芯源微、科前生物发行上市（首发）。芯源微科创板上市申请今年7月12日获得上交所受理，经过两轮问询。芯源微主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售，其涂胶显影设备产品成功打破国外厂商垄断并填补国内空白。此次上市，公司拟募集资金3.78亿元，主要用于8/12英寸单晶圆前道涂胶/显影机、8/12英寸前道单片式清洗机等产能与研发中心建设。致力于国产替代芯源微招股说明书显示，公司生产的涂胶显影设备产品成功打破国外厂商垄断并填补国内空白，其中在LED芯片制造及集成电路制造后道先进封装等环节，作为国内厂商主流机型已成功实现进口替代；在集成电路制造前道晶圆加工环节，公司 ………………………………