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SPAD与超表面滤光片阵列集成,实现超低微光水平下的彩色图像重构

MEMS  · 公众号  ·  · 2020-06-08 00:00
单光子成像在传感应用中越来越受到欢迎,如微光成像、3D成像、荧光成像,同时对多个波长的光谱信息进行单光子采集也已经用于目标物体识别和叶片生理参数测量等应用。上述应用要独立获得多光谱信息,则需要复杂、光路损耗低的接收信号。CMOS单光子雪崩二极管(SPAD)阵列则提供了可行的解决方案。据麦姆斯咨询报道,近期,英国格拉斯哥大学(University of Glasgow)、英国赫瑞瓦特大学(Heriot-Watt University)和美国博伊西州立大学(Boise State University)的研究人员合作开发出一种高透射率马赛克滤光片阵列,每个滤光片只需单步光刻工艺完成,由等离激元超表面(plasmonic metasurface)实现。马赛克滤光片与CMOS SPAD阵列集成,彩色图像将以平均每像素5个光子的微光水 ………………………………

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