奥趋光电发布高质量铝钪氮薄膜材料，可用于BAW/SAW滤波器

图1 奥趋光电蓝宝石基铝钪氮（Al0.56Sc0.44N）薄膜模板奥趋光电技术（杭州）有限公司（简称：奥趋光电）是一家全球领先的氮化铝晶体材料解决方案供应商。奥趋光电在SEMICON China 2021举办的“2021年功率与化合物半导体国际论坛”推出了采用自主创新技术开发的具有世界领先水平的高质量蓝宝石基铝钪氮薄膜模板产品。铝钪氮是目前极具前景的半导体材料，可取代5G射频前端BAW（FBAR）/SAW滤波器中的氮化铝材料，并在新一代功率器件领域极具应用前景。通过将高含量的钪元素掺入氮化铝，射频器件的压电性能和机电耦合系数能取得显著提升。然而，由于掺高钪浓度（＞40 at%）的铝钪氮薄膜在生长过程中容易出现从纤锌矿结构到立方晶系盐石结构的相变，铝钪氮薄膜晶相的 ………………………………