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#半导体# 【科学家实现平面纳米位移的光学感测，为半导体制造和微-20240215215434

麻省理工科技评论  · 微博  ·  · 2024-02-15 21:54
2024-02-15 21:54 本条微博链接 #半导体# 【科学家实现平面纳米位移的光学感测，为半导体制造和微纳加工提供新方案】一直以来，纳米精度的位移测量——都是#半导体制造# 、高分辨光学成像、精密测量等领域的基础光学技术。以半导体制造为例，刻写线条的对准精度需要优于线宽的四分之一，只有这样才能保证加工制造的良率，这意味着 10 纳米的线条的对准精度必须高于 2 纳米。但是，横向位移的光学测量技术，受到#光学# 衍射极限的限 ………………………………

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