哈尔滨工业大学郭洋裕教授：微纳尺度及界面传热物理研究进展

研究背景在2021年发布的《中华人民共和国国民经济和社会发展第十四个五年规划和2035年远景目标纲要》中，“光子与微纳电子”被列为重大聚焦创新领域，“集成电路”为7个科技前沿重点攻关领域之一。随着先进加工制造技术的进步，目前电子器件芯片制程已经达到3-5nm尺度。电子器件的微小型化使得单位面积内的热耗散急剧增大，散热问题成为制约其进一步发展的瓶颈问题。无论在民用电子器件设备如手机、电脑、LED、5G通讯基站、新能源汽车、热电器件等，还是在军用电子设备中，热管理与热设计均成为一个亟待解决的重要技术难题。微纳尺度电子器件中，制约固态介质中热量输运的两个关键因素包括：1）微纳结构和2）异质界面。微纳结构的热导率相比体材料要低很多，而异质界面将产生额外的界面热阻。因而微纳尺度及界面热输运规律是 ………………………………