特殊气体供应系统目的 由气体供应责任部门建造及操作之气体化学物质输送系统，即设计部门根据终端用户化学物质需求量及其物质特性，分别建立其特定输送系统，得以安全的，高品质的，不中断的输送至生产线设备使用，如：半导体工厂，太阳能工厂，液晶面板工厂…等 电子特殊气体的供应，除去几种低蒸气压的可能采用Bubbling或N2/Ar驱动外，基本都采用自身蒸气压驱动的输送方式，几大重点关注项目如下。蒸气压/气压驱动模式防止过程泄漏及过程污染压力的稳定度调节低蒸气压供应系统的温度梯度建立颗粒物的控制自动吹扫系统三大要素：工业安全 + 工艺控制 + 纯度控制基本供应架构气房一览气房示意图电子特殊气体依据性质分类惰性气体：CF4，C2F6，SF6，N2O，C4F8，Ne/Kr，He，CHF3......毒性/腐蚀性气体：NF3，Cl2，WF6，HBr，BCl3，SiH2Cl2，
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