国产光刻机五十年：星星之火，可以燎原？

作者：陈辰来源：科工力量（ID：guanchacaijing）“星星之火，可以燎原。现在虽只有一点小小的力量，但它的发展会是很快的。”—— 《毛泽东选集》第一卷2001年2月27日，中科院院士、北大微电子研究院院长王阳元在中南海作了一场报告，分析我国发展微电子和集成电路产业的必要性、紧迫性、措施和建议。这次报告让与会者对半导体的战略地位有了进一步理解。当时主持会议的国务院副总理在听取报告后，随即指出：集成电路是电子产品的“心脏”，是信息产业的核心基础，因此必须大力发展集成电路产业。无疑，这一结论给国内半导体产业发展带来了举足轻重的动力。1975年，王阳元主持研制成功国内第一块三种类型的1024位MOS动态随机存储器 。2002年，光刻机被正 ………………………………