点击上方「材料科学与工程」快速关注材料类综合、全面、专业的微信平台石墨烯是由单层碳原子通过SP2键连接构成的类蜂窝状六方点阵二维晶体,它具有独特的能带结构以及优异的物理性能,自被发现以来吸引了众多研究者的广泛关注。通过石墨烯复合衬底材料可实现其光学性能、力学性能及电学性能调控,对提高石墨烯器件应用价值具有重要意义。由于氮化硅薄膜具有在同等体积下较小的质量和良好的光学性能等特点,被广泛应用于力和质量传感器。通过改变氮化硅表面形貌对石墨烯/氮化硅复合材料性能进行调控,对于石墨烯/氮化硅复合材料器件的设计具有重要的理论和工程价值。近日,江苏大学葛道晗研究团队通过化学气相沉积法和干法刻蚀制备出一种具有一
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