国产离子注入机产业化 中国芯片高端装备再添利器

日前，中电科电子装备集团有限公司（以下简称电科装备）传来好消息，自主研发的国内首台中束流离子注入机在中芯国际大生产线上稳定流片逾200万，首台200mmCMP设备实现了销售。这是电科装备承担“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”科技重大专项（以下简称02专项）所取得重大成果的缩影。28nm离子注入机在中芯国际12英寸生产线现场200mmCMP设备进入中芯国际生产线进行工艺验证PERC高效光伏电池智能制造生产线核心智能装备国产化率达91.8%9年间，电科装备共承担了02专项“90—65nm大角度离子注入机研发及产业化”“封装设备关键部件与核心技术”“45—22nm低能大束流离子注入机研发及产业化”“28—14nm抛光设备及成套工艺、材料产业化”“300mm超薄晶圆减 ………………………………