硅的干/湿氧化：反应力场的开发

分子动力学（MD）是一种重要的数值模拟方法,通过求解所有相互作用，模拟原子的运动方程，实现目标系统时间演化的模拟，从而计算给定模拟时间内组成能量与其他热力学量等材料性质。MD的中心问题是构建足够有效和准确的模型，将量子尺度的相互作用适应到经典方程中。Fig. 1 Comparison of the bond energies or the penalty energies on the basic test molecules.在众多的势模型中，反应力场（ReaxFF）势由于其物理现象的再现性和准确性，被广泛应用于材料领域的研究。然而，迄今为止，许多引起人们兴趣的系统都没有在文献中涵盖，即使有也需要基于先前开发的参数集进行进一步的调整，以组成一个可靠的MD模型来解决实际问题。因此，发展ReaxFF参数是很有必要的。Fig. 2 Results of the c-SiO2 thermal expansion.来自三星日本公司Junichi Noaki等，开发了Si/O/H反应力场参数集，并 ………………………………