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专栏名称: MEMS技术
| 微机电系统MEMS技术,是融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。MEMS是一个独立的智能系统，其内部结构一般在微米甚至纳米量级。 |
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