课程名称:光学MEMS和传感器培训课程主办单位:麦姆斯咨询协办单位:无锡微纳产业发展有限公司、华强电子网支持单位:华强智造、新微创源孵化器、创星咖啡一、课程简介MEMS与光学技术相互交叉融合,诞生了MEMS的核心分支技术——光学MEMS(也称为MOEMS),为光学技术的发展带来了新的发展动力和机遇,一大批新器件、新工艺推动了光学技术的快速发展。光学MEMS主要分为光学传感器和光学执行器两大类。光学传感器是一种基于光学原理,采用光电敏感元件实施测量的传感器,其具有许多优点,如非接触和非破坏性测量等,广泛应用于消费类智能手机、汽车类自动驾驶系统、工业类零部件测量系统等。光学执行器是将微型光学元件与MEMS微动元件有机组合而构成动态
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