为什么光刻无尘室要用黄光灯管

光刻是集成电路（IC或芯片）制造中的重要工艺之一。简单来说，它是通过使用光掩膜和光刻胶在基板上复制电路图案的过程。基板将涂覆硅二氧化层绝缘层和光刻胶。光刻胶在被紫外光照射后可以容易地用显影剂溶解，然后在腐蚀后，电路图案将留在基板上。无尘室（Cleanroom）排除掉空间范围内空气中的微尘粒子等污染物，获得一个相当洁净的环境，常用于高精度制造的产业，包括半导体制造、生物技术、精密机械、医疗等，其中以半导体业对室内温湿度、洁净度要求最为严格、必须控制在某个需求范围内，才不会对制程产生影响。光刻区为什么选黄光？光刻胶的感光范围通常位于200nm-500nm，这意味着在这个范围内的光线可以引发光刻胶的化学反应。200-500nm的光线有紫外线，紫光，蓝光，因此这三种光线在光刻区是一点也不能存在的。半导体无尘 ………………………………