SEMICON现场｜集迦电子发布最新12吋和8吋无线测温晶圆传感器WTS

推荐关注：近日半导体设备传感器供应商上海集迦电子科技有限公司向市场发布了最新测温产品：无线测温晶圆传感器（WTS，12吋和8吋）。无线测温晶圆传感器（WTS），行业内工程师俗称为on wafer，适用于真空环境、液体环境或者大气环境，是半导体设备制造以及fab厂中有广泛应用的智能量测工具，主要用于Etch、Litho、wet等工艺设备内部温度精度以及均匀性测量。对于半导体设备研发、生产、装机、维护、维修等具有重要意义。无线测温晶圆传感器在12寸的硅片中集成了65个温度传感器、控制电路、无线信号传输模块、数据存储、无线充电模块以及电源。厚度控制在1.2mm以下，可以在半导体设备内部和正常12寸或8吋硅片一样自动传输。用于记录设备内部各个位置的温度，并存储于传感器内部。通过无线通讯方式将数据传输给电脑内专用软件，进行温 ………………………………