Sci. Adv：通过刚柔性MOF实现对C3F8/C3F6混合物的高效分离

背景介绍 电子特种气体，如氟化气，是半导体智能制造行业（如超大规模集成电路、太阳能电池和其他设备的生产）必不可少的气体。全氟丙烷（C3F8）作为半导体制造中的等离子蚀刻和清洗气体，在半导体制造中的需求量尤其大。目前生产C3F8的传统方法是通过在六氟丙烯中添加氟，但这样会产生含有残留C3F6的混合物，需要进一步提纯才能得到高纯度C3F8。由于C3F6和C3F8的挥发性相差不大，传统蒸馏法效率低且耗能大，因此需要一种在环境条件下分离C3F6和C3F8的节能技术，如利用多孔材料进行物理吸附。金属有机框架材料或多孔配位聚合物有更多的多样性和模块化，因此被视为完成这项任务的有希望的材料。目前提高金属有机框架材料的卤烃捕获和分离性能的策略包括引入开放金属位点和对配体进行氟原子官能化，但这些策略可能会增加杂质吸收并 ………………………………