循环经济时代来临，半导体制造如何降低成本？

2018年全球市场在晶圆代工及制造业突破7纳米制程量产技术，2019年更是5G及AI发展的关键年度。随着科技精密程度、对于硬件的保护及产品良率的要求，企业更是不惜提高投资的成本，将前段到后段高端制程中产生的污染物，转换成再生资源，是企业推动科技发展的关键趋势，各大企业皆义不容辞、默默启动。近两年循环经济成为热门话题，对于减废及永续的观念逐渐成熟稳固，其中如何创造循环经济的价值，搭配企业中各项管理机制与营运面，需结合上下游产业链以扩大循环经济的成效与影响力。空气微污染气体(Airborne Molecular Contamination, AMC)对半导体制程、机房及设备的影响日趋显著，Muller et al. (1994) 研究指出，在 Class 100 的洁净室内，AMC沉积于晶圆表面之质量可能 ………………………………