宙讯微电子压电MEMS工艺平台—引领高端压电 MEMS 技术革新

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在科技飞速发展的今天，MEMS技术正成为推动各行业变革的关键力量。作为压电MEMS领域的领军者，南京宙讯微电子科技有限公司凭借其全球领先的 氮化铝（AlN） 和 掺钪氮化铝（AlScN） 工艺技术，打造了业界顶尖的压电 MEMS 工艺平台，为高端微纳器件研发与量产提供了强有力的支持。 技术领先性：AlN与AlScN工艺的行业标杆 氮化铝（AlN）工艺：成熟可靠，性能卓越 氮化铝（AlN）薄膜因其优异的压电性能和热稳定性，在MEMS领域占据核心地位。宙讯微电子在AlN工艺上深耕多年，通过自主研发和持续优化，实现了薄膜质量的行业领先水平。我们的AlN薄膜具有以下优势： 高均匀性： 薄膜厚度均匀性控制在0.2%以内，确保器件性能一致性。 优异的压电性能： 压电常数（d33）达到5.5pm/V，AlN薄膜机电耦合系数（kt²）显著提高到6.8%以上，满足高频、高精度器件 ………………………………