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冷知识：所谓的7nm芯片上没有一个图形是7nm的

半导体综研  · 公众号  ·  · 2023-10-19 11:30
最近因为某知名国产品牌手机的高调回归，国内市场上燃起了一股关注国产7nm高端芯片的热潮有意无意之间，我也看了不少网上关于国产自主7nm工艺的文章。不过这些文章里更多是抒情和遐想，却很少有人针对技术本身做过深入解释和探讨当然，关于国产7nm工艺技术的具体来源细节，我其实了解也不多，也不方便公开讨论。但至少我觉得有必要写些文字给非半导体制造行业的人士讲解一下，一般意义上所谓的7nm工艺到底是怎么回事首先简单明确一个事实：正如我文章标题所言，7nm工艺其实只是一个等效的说法，实际上7nm芯片上所有层的最小线宽都远远大于7nm上图是我整理的ASML目前在售的各类光刻机的型号及技术指标清单。从表中可见，最先进的DUV光刻机 TWINSACAN NXT 2100i的最高分辨率只有38nm；而EUV光刻机 3600D的分辨率也只有13nm在晶圆厂的实际生产 ………………………………

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