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EUV光刻机是中国半导体行业的唯一症结吗?

雷峰网  · 公众号  · 科技媒体  · 2020-11-26 12:01
EUV光刻机是中国半导体产业发展路上需要解决的问题的一个缩影。”作者 | 吴优出品 | 雷锋网产业组在一颗芯片诞生的过程中,光刻是最关键又最复杂的一步。说最关键,是因为光刻的实质将掩膜版上的芯片电路图转移至硅片,化虚为实。说最复杂,是因为光刻工艺需要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀、检测等数十道工序才得以最终完成。图片源自ASML官网正因如此,集数学、光学、物理、化学等众多学科技术于一身的光刻机,被称之为半导体工业皇冠上的明珠,占据晶圆厂设备投资总额的约25%。在中美关系紧张的大背景下,这颗“明珠”备受关注,其光环似乎已经盖过了其他半导体设备,更是有声音认为只要拥 ………………………………

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