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智能制造的大数据分析

MEMS  · 公众号  ·  · 2019-12-23 00:00
设备和工艺方面的专业知识是半导体制造分析解决方案的关键组成部分过去几年，应用材料公司在探索半导体制造业的大数据分析方法上一直走在业界前列。除了赞助美国、亚洲和欧洲先进制程控制（APC）大会等重要的相关技术会议，应用材料公司在此方面的工作还体现在《IEEE半导体制造会刊》（IEEE Transactions in Semiconductor Manufacturing）等同行评审期刊上发表的相关论文。公司在瑞士曼迪匹艾（MDPI）的开放期刊Processes上发表的一篇此类文章，获得了 2016年和 2017年度“最佳论文奖”。该文探讨了半导体制造业大数据分析的发展趋势和机遇，并提供了相应的路线图，阐述了如何采用分析技术为缺陷检测到预防式维护等一系列应用提供支持。本文对这篇论文的要点予以介绍 ………………………………

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