在SEM中实现4D-STEM及其晶体学应用

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四维扫描透射电镜（ 4D-STEM ）是一种通过聚焦电子束在电子透明样品上扫描，同时收集实空间和倒易空间的二维图像的技术。这种方法产生四维数据集，因此得名 4D-STEM 。 需要明确的是，这里的维度并不涉及时间；而是指所得四维数据集包含空间和衍射信息。具体来说，两个维度代表样品中的 x 和 y 坐标（实空间位置） ，而另外两个维度代表每个位置处的衍射图案中的 kx 和 ky 坐标（倒易空间） 。 4D-STEM 测量在材料科学中的应用非常广泛，特别是在晶体取向映射、位错、应变映射或电场、磁场等场信息的表征方面，具有高空间和角分辨率。 传统上， STEM 技术使用环形探测器来收集散射电子，但这种方法会丢失大量衍射信息。相比之下， 4D-STEM 通过在每个探测位置捕获完整的衍射图案，保留了这些关键信息，使研究人员能够进行更全面的材料分析 ………………………………