上海微系统所“高性能MEMS陀螺仪及其系统应用技术”荣获上海市科学技术奖

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以微纳卫星、小型无人机为代表的高端无人装备急需高性能、微型化的惯性测量系统。传统的陀螺仪系统体积大，很难满足微型化的需求。而MEMS陀螺仪拥有极佳的C-SWaP（价格、体积、重量、功耗）指标，但性能容易受力、热、电磁等恶劣环境条件的影响，导致MEMS陀螺仪目前大多在消费级应用，难以在各类高端无人装备领域取得应用突破，制约了国内无人装备、航天、航空等多个重要行业的技术进步。因此，如何进一步提升MEMS陀螺仪及其系统的性能是促进本领域技术进步和产业发展的核心关键。 为破解这一系列技术难题，在多项国家计划和上海市科委、经信委等项目资助下，中国科学院上海微系统所与上海航天项目团队产学研用相结合，聚焦限制高性能MEMS陀螺仪和系统研制与应用的核心瓶颈技术，以MEMS陀螺仪芯片、电路控制、系统应用为任务主 ………………………………