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高纯石英制品,为何能在半导体制程中 “C 位出道”

粉体网  · 公众号  ·  · 2025-03-15 10:11
    

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石英制品被广泛应用于国民经济的电子信息、新能源、材料制造等战略性新兴产业领域,在国家高新技术领域和国防建设中发挥着不可替代的作用、是战略性新兴产业重要的关键材料之一。     石英制品在半导体中的应用 在半导体集成电路与芯片制造中,石英坩埚、石英管、石英舟、石英支架等各种配件是难以替代的关键材料和制品,涉及半导体晶圆制造的大部分流程。石英制品在使用过程中直接与硅片或晶圆接触,其性能好坏对下游产品的良品率高低将造成直接影响。 半导体石英制品及应用 石英法兰: 石英法兰应用在单晶硅片扩散、氧化、CVD环节,与石英玻璃扩散管配套使用,主要起连接作用。 石英坩埚: 石英坩埚主要用于生长单晶硅,是半导体工业中不可或缺的容器。其中,石英坩埚的杂质会影响坩埚的力学性能、电阻率分布、单晶的纯 ………………………………

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