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脉冲驱动型MEMS气体传感器融合机器学习,实现选择性气体识别

MEMS  · 公众号  ·  · 2025-05-13 00:00
    

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痕量气体的检测与识别对于保障化工安全和人类健康具有重要意义。基于MEMS技术的金属氧化物半导体(MOS)气体传感器因其制备工艺简单、体积小巧、使用寿命持久、电子兼容性好等特点,在环境监测领域展现出独特优势。MOS气体传感器通过检测目标气体引起的电导率变化实现传感,非常适合构建高度集成的传感系统。然而,这类传感器存在高功耗和选择性差等缺陷,限制了其在便携式电子设备和物联网领域的实际应用。 据麦姆斯咨询报道,近期,广东工业大学李明杰副教授团队提出一种低功耗电子鼻系统,该系统基于双模式微加热器的MOS气体传感器,利用脉冲加热模式(PHM),成功解决了传统MOS气体传感器高功耗和选择性受限的难题。这项研究为开发低功耗、高性能的电子鼻系统以及具有气体识别功能的可穿戴物联网设备开辟了新途径。相关 ………………………………

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