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8月16日消息,据韩国首尔经济日报报道,三星将于2024年第四季度到2025年第一季在韩国华城园区开始安装首套High-NA EUV,预计2025年中启用,首先会用于开发2nm以下逻辑制程,以及先进的DRAM芯片制程。三星也计划与Lasertec、JSR、Tokyo Electron和Synopsys合作,打造High-NA EUV生态系统。 ASML目前有十多套High NA EUV光刻机订单,今年4月英特尔率先完成了全球首台High NA EUV光刻机安装,近期英特尔CEO帕特·基辛格(Pat Gelsinger)在2024年第二季财报会议上透露,其俄勒冈州半导体研发基地即将迎接第二套High NA EUV光刻机的进驻。除了英特尔之外,台积电、三星、SK海力士及美光都在排队等待High NA EUV光刻机。 之前的消息显示,台积电将于今年年底导入High NA EUV光刻机,三星和SK海力士可能要等到2025年,最快2025下半年。但根据最新的市场消息来看,三星有机会比台积电早
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