【微纳加工】国内MEMS（微机电系统）领域重点高校的特色与优势

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国内MEMS（微机电系统）领域的重点高校在研究方向、学科交叉、产业化应用等方面各具特色。以下结合科研平台、师资力量、技术方向及成果，对主要高校进行系统梳理：。 希望常见面的话，点击上方即刻关注，设为星标！ 一、顶尖高校：综合实力与学科引领 1. 清华大学        研究方向 ：聚焦智能传感器、可穿戴设备、RF MEMS及微纳加工技术，团队包括陈炜教授（叠层芯片技术）、任天令教授（智能传感器与系统）等。        科研平台 ：微米/纳米技术研究中心、电子封装技术研究中心，拥有完整的MEMS加工设备及铁电/压电材料工艺条件。        应用领域 ：国防装备、高端工业传感器，成果应用于航天器惯性导航系统。   2. 东南大学        研究方向 ：以气象传感器、CMOS MEMS为核心，覆盖RF MEMS、微能源器件及量子传感系统。黄庆安教授 ………………………………