特气柜、气架、VMB、VMP 简介

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欢迎大家来到“半导体设计咨询-DR术董会“，在这里我们将分享专业的技术知识和规范解读，带您了解目前国内外的前沿技术，分析解答目前行业遇到的痛点和热点事件，为您呈现最新的行业解决方案。 期待您的 分享 点赞 在看 GC-Gas Cabinet 气瓶柜(用于危害性气体) GR-Gas Rack 气瓶架(用于危害性气体 ) VMB-Valve Manifold Box 阀门箱(用于危害性气体) VMP_Valve Manifold Panel 阀门盘(用于危害性气体) 特气柜和 VMB 主要用于易燃易爆腐蚀有毒等危害性气体,而气瓶架和 VMP 一般用于非危害性气体;主要区别在于，特气柜和 VMB 都要有一个外壳上有抽风管，当发生小泄露等危险情况时可将此类气体排出去避免扩散产生更大危险。 (一)Gas Cabinet/Gas Rack 特气柜/气瓶架/特气盘面 1. 功能设计 可分为 单钢瓶(1process)/ 双钢瓶(2 Process )/ 三钢瓶(2 Process +1 N2)气瓶柜内的钢瓶数设计可分 ………………………………