化学品供应系统概述

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01 系统定义  中央化学品供应系统简称CDS(Chemical Dispense System)，是一个为生产线实现24小时不间断供应高纯度化学品的系统，一般应用于使用量大、POU点位多或者危险性高的化学品。其目的是供应高纯度化学品用于芯片表面杂质和微粒子的清洗，芯片图形的刻蚀，芯片图形的显影、芯片的研磨等。 系统示意 02 系统分类 半导体行业主要使用的化学品大致可以分为酸性（Acid）、碱性（Base）、有机（Solvent）、氧化剂（Oxider）及研磨液(Slurry)。 表1-1 上表是常见的一些工艺所用的化学品种类。工艺半导体制造在很大程度上是一种与化学有关的工艺过程，高达20%工艺步骤是清洗和晶圆表面的处理。 03 实际用途  在以往硅片的加工中， 液态 化学品主要用在以下工艺中： 【 以酸碱为例】 酸 ①HF 刻蚀二氧化硅及清洗石英器血 ②HCL 湿法清洗化学品，2号标准液 ………………………………