MEMS麦克风环境防护方法之声学半透明纳米纤维网

文章预览

MEMS麦克风凭借其声学性能高且可重现、与ASIC兼容性高、温度稳定性好、制造成本低以及可通过回流焊接集成到小型封装中等优势，在很多领域的应用日益广泛。如今，大批量MEMS麦克风不仅集成在消费电子产品（例如智能手机、平板电脑、智能手表、笔记本电脑和真无线立体声耳机）中，而且还扩展到了汽车、医疗和工业设备中。除了利用真差分MEMS换能器或新型膜材料优化关键声学性能参数（例如灵敏度、噪声和信噪比）外，业界还致力于提高封装MEMS麦克风的鲁棒性，使其免受灰尘颗粒或液体渗入等环境影响。 据麦姆斯咨询报道，英飞凌科技股份有限公司（Infineon Technologies）最近开发的MEMS麦克风已经具备了基本的防尘防水等级（IP57），但宏观尺度的撞击物体（例如沙粒、毛发和金属屑）仍会损坏其通常非常薄的多晶硅膜。因此，可选择在智能 ………………………………