上海交大刘智崑《Additive Manufacturing》：3D 打印单晶硅！

主要观点总结

上海交通大学机械与动力工程学院刘智崑副教授团队在增材制造领域取得重要成果，利用液态硅烷前驱体结合激光直写技术，成功实现了全单晶硅纳米结构的快速增材制造，特征尺寸突破了光学衍射极限。这项技术为无需掩模、低成本制造三维半导体器件开辟了新路径。

关键观点总结

关键观点1: 研究背景及重要性

传统的激光加工技术难以满足高性能半导体器件对单晶材料的严苛要求。该成果为增材制造领域提供了一种实现单晶硅纳米结构制造的新方法。

关键观点2: 研究成果及实现方法

团队采用环己硅烷作为液态前驱体，结合532 nm纳秒脉冲激光，实现了单晶硅的3D打印。通过独特的“液层透射-界面加热”模式，诱导硅原子实现外延生长。

关键观点3: 技术的优势及创新点

该技术摆脱了传统制造过程中对光刻机及电子束直写设备的依赖，实现了无需昂贵掩模版或超高真空环境的单晶硅纳米结构制造。特征尺寸小于激光波长，且生长速度可线性提升。

关键观点4: 研究团队及作者简介

研究团队由上海交通大学机械与动力工程学院的刘智崑副教授领导，该团队在电子类、制造类、物理类、化学类等多个学科领域都有深厚的研究背景。