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半导体,百级和千级FFU布置率是怎么计算的?

洁净工程联盟  · 公众号  ·  · 2024-12-31 11:20
    

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1 满布率: 在垂直单向流顶棚上高效过滤器的满布率要在80%以上,有时规范认为70%以上即可,但考虑到洁净棚的密闭性比一般洁净室差一些,建议提高到80%。 2 计算公式: 由于百级洁净室通常要求满铺FFU,因此其布置率可以直接按照顶棚面积的80%-100%来考虑。具体计算时,可以参考以下步骤:确定洁净室的总面积 AA(长 × 宽) 计算所需FFU数量:N=A×满布率/单个FFU覆盖面积N=A×满布率/单个FFU覆盖面积 3 千级洁净室 的要求相对百级较低,但仍需保持较高的洁净度。其FFU布置率可以根据附图的公式进行计算: 免责声明: 以上内容源于网络,版权归原作者所有,如涉及作品版权问题,请您告知我们将及时处理! 建构洁净室学习成长体系 知识星球APP内的文件均支持手机在线阅读及电脑下载,现有洁净室技术、 项目管理、 生产工艺、 标准规范、 工程图 ………………………………

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