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近年来,随着国内半导体行业积极推进产业升级,泛半导体行业的材料、装备、零部件产业广受关注,正成为行业寻求突破的焦点。半导体气体传输系统零部件作为整个半导体工艺制程中的一个细分领域,承担着在半导体设备中精确控制反应气体流量、压力和纯度的关键任务,被誉为芯片制造的 “血管系统”。在晶圆制造的刻蚀、薄膜沉积等关键工序中,气体传输系统的性能对芯片良率有直接影响。因而这一关键领域具有三大特征: 图示:半导体气体传输系统零部件行业特点 来源: CINNO Research整理 1、 高技术壁垒: 半导体气体传输系统零部件需满足纳米级的加工精度、超高洁净度以及耐受强腐蚀等苛刻要求,因此涉及材料科学、精密机械等跨学科技术积累。 2、 强客户粘性: 由于半导体设备直接决定芯片良率,因而客户选择设备厂商慎之又慎
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