碳化镍薄膜的制备及其作为石墨烯制备中间相的研究进展

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陈 森 杨斗豪 任家轩 王正铎 刘博文 刘忠伟* （北京印刷学院等离子体物理与材料研究室北京102600） 摘 要:   碳化镍薄膜具有良好的催化活性、低电阻率、高的硬度以及可以作为石墨烯制备过程中的理想中间体等特点引起了人们的广泛关注。物理气相沉积技术制备的碳化镍薄膜多是微晶相嵌入碳基体中的复合结构薄膜，然而，通过化学气相沉积技术制备的薄膜是均匀相薄膜，电阻率低、电催化活性较好。此外，在高质量石墨烯的制备方面，碳化镍相起到提供碳源作用。本文从物理溅射技术、化学气相沉积技术和原子层沉积技术综述了碳化镍薄膜的制备方法，并且总结了碳化镍中间相对石墨烯形成的影响。 关 键词: 碳化镍 石墨烯 原子层沉积 磁控溅射 过渡金属碳化物（TMCs）由于具有独特的性能， 如良好的机械和电子性能、表面亲水和金属导电性等 ………………………………