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启动2nm工艺研发,台积电半导体竞赛英特尔加速全球争霸
AI报道
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· 2019-06-17 19:45
台积电率先量产7nm+工艺后,再出新动作。日前,台积电官方宣布,正式启动2nm工艺的研发,工厂设置在位于台湾新竹的南方科技园,预计2024年投入生产。不过台积电方面并没有给出2nm工艺所需要的技术和材料,看晶体管结构示意图和目前并没有明显变化。但是按照台积电给出的指标,2nm工艺是一个重要节点,Metal Track(金属单元高度)和3nm一样维持在5x,同时Gate Pitch(晶体管栅极间距)缩小到30nm,Metal Pitch(金属间距)缩小到20nm。也就是说,2nm制程相比于3nm要小了23%。 能在硅半导体工艺上继续精深到如此地步堪称奇迹。当然,在量产2nm之前,台积电还要接连经历7nm+、6nm、5nm、3nm等多个工艺节点。其中,7nm+首次引入EUV极紫外光刻技术,目前已经投入量产;6nm只是7nm的一个升 ………………………………
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