什么是晶圆制造FAB中的HOOK UP？

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Hello,大家好，今天我们来聊下，晶圆制造FAB中的HOOK UP。 一。HOOK UP定义 HOOK UP ,英文的意思指的是“连接”，那在半导体的FAB中连接的是啥呢？ 主要指的是设备与能源（气体，液体等）之间的 配管衔接， 以设备机台为服务对象，按照其具体技术要求, 在合理的时间内，将动力主系统的各种动力源，安全 地和 优质地衔接到机台，并保证机台长期持续正常运作。 二。HOOK UP的UTILITIES HOOK  UP是将厂务提供的 UTILITIES ，经过预留的UTILITIES连接点( PORT OR STICK)，通过管路及电缆线连接至机台及其附属设备(SUBUNITS)。 厂务提供的 UTILITIES 包括： 电、基础、排风（含新风） 、工艺水、自来水、泵管、纯水、化学品、排放水、大宗气体、特殊气体、工艺真空、呼吸系统。 （power、EXH、PCW、CW、 PUMPING LINE、UPW、CHEMICAL、DRAIN、BULK GAS、Special gas、PV、BA）等。 机台通过这 ………………………………